簡介

在半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)中，需要大量的超純水來清洗晶片。保證水純度的高質(zhì)量對(duì)該行業(yè)來說非常重要，可以防止晶片上的超微結(jié)構(gòu)被損壞。通常，需要控制水在18M?cm。通常通過電導(dǎo)率及溫度的控制來確保水的高純度。

晶片生產(chǎn)流程

晶片的生長


晶片的生產(chǎn)過程


晶片的包裝


測量難點(diǎn)

在今天，利用較高溫度的水來清洗晶片已經(jīng)成為一種發(fā)展趨勢(shì)，因?yàn)檩^高溫度的水在溶解雜質(zhì)及油的能力相對(duì)有所提高。
在測量超純水的電導(dǎo)率時(shí)，為了得到精確的測量值，溫度是不可忽視的主要原因。因?yàn)槌兯?00C 時(shí)的溫度系數(shù)為大約 3%/0C，這相當(dāng)于溫度相差10C，電導(dǎo)率測量的誤差在3%左右。溫度的精確測量是保證電導(dǎo)率測量的前提之一。另外，正確的使用溫度補(bǔ)償也十分重要。

推薦系統(tǒng)
·傳感器：InPro7010電導(dǎo)傳感器
·變送器：7050電導(dǎo)變送器
傳感器液接部位采用鈦合金制成，耐高溫，并且內(nèi)置溫度傳感器，可進(jìn)行精確的溫度補(bǔ)償。

益處
整個(gè)系統(tǒng)安裝及操作簡便，測量精度高，價(jià)格實(shí)惠。